激光三维表面轮廓仪可进行材料表面三维轮廓测量、粗糙度测量、宽度、高度、角度、半径、粗糙度等二维和三维数据分析，无需拼接即可直接测量大面积样品。Z1轴（检测器）配备高精度圆弧光栅尺和新型测量臂的轮廓测量仪。高精度圆弧光栅尺可直接读取测量针的圆弧轨迹，实现高精度、高分辨率。与传统机型相比，新型测量臂将Z1轴的测量范围增加了10mm，减少了工作量。测量臂安装部分采用磁力连杆，此触点即可完成测量臂的装卸，提高了使用的便利性。

在CF4激光共焦传感器中，被照亮的小孔在被测表面上成像。激光束通过物镜快速上下移动，聚焦在被测物体上。只有当焦平面与真实表面上的点配对时，探测器才会记录表面信号。因此，物镜必须移动一个小的垂直步距，以便通过位移传感器的位置移动来测量信号。根据特殊的插值技术，系统的精度可以达到10nm以下。激光三维表面轮廓仪可生成高达150x150mm扫描区域的详细3D和2D图像。其重复性和超低力使其能够测量任何材料的表面形貌，用于科研和生产环境。数据分析SPIP软件是工业上有用的软件。用户可以对各种应用进行表面分析。单方面，它的扫描面积非常大，用途也比较多。

激光三维表面轮廓仪的应用：

1、集成电路封装和表面贴装：快速获取封装翘曲、引脚共面度、粗糙度、焊锡量和引脚轮廓。

2、厚膜混合电路：自动测量膜厚。

3、精密零件：测量精密五金配件、塑料和半导体材料的轮廓和粗糙度。