CVD气相沉积炉管为定制下细上粗不锈钢管，炉管内部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟，石英板的孔径可单独定制。粉末可放在多孔石英板上，气体从下而上穿过粉末颗粒，当气流速度达到或超过颗粒的临界流速时料层中颗粒呈上下翻腾，在一定温度和气氛下，充分反应沉积。

CVD气相沉积的功能特点：

1、采用纯微波加热、~传统电加热或混合加热方式，可加热包括金属在内的非易燃易爆材料，

2、升温速率快，智能控温，可分段设置，控温稳定度好，热惯性小。同时加热多个温区，且加热区长度可调。

3、可通各种气氛，抽真空有机械泵、扩散泵和分子泵，可达真空状态。

4、炉体采用不锈钢密封法兰（铰链结构）；

5、保护管采用合金管，气管采用卡套或VCR接口，安装方便；

6、炉体配有自动冷却风扇，降低温度；

7、真空系统：机械泵扩散泵和分子泵，真空密度计

8、可通过电脑全程监控和调试。