半导体性能优越 离不开超纯水装置的加持

admin 42 2022-05-12 09:13:44

说到膨胀,人们首先想到的是石油和黄金、商品和消费品价格的上涨。当价格传导到半导体对应的上市公司业绩又有一波大幅增长时,虽然成本端也会增加,但总体来说还是表现不错的。而如果价格和产能的落地能够幸运的遇到,那么整个半导体板块爆发出来的增长将超乎我们的想象。

半导体行业在生产过程中需要大量的清洁水。随着半导体行业的不断发展,对清洁水的电导率、离子含量、TOC、DO和颗粒物的要求也越来越严格。由于超纯水对半导体的许多指标要求很高,所以半导体行业的超纯水与其他行业的水要求不同。半导体行业对超纯水的水质要求极为严格。目前,我国常用的超纯水标准是国家标准《电子级水》(GB/T 11446.1-2013)和美国标准《电子和半导体行业用超纯水指南》(ASTM-D5127-13)。

硼是半导体生产过程中的一种P型杂质,过量会使N型硅反转,从而影响电子和空穴的浓度。因此,在超纯水行业中应充分考虑去除硼。半导体超纯水工艺中的Huncotte系统采用核级树脂,通过独特的定向离子交换树脂,可以有效控制系统出水的硼离子含量。采用IPC-MS检测硼离子含量,分析出的硼离子出水≤0.005μG/L,远远低于ASTM-D5127-13标准中E1.3中硼离子≤0.05μg/L的要求,因此可以说半导体性能优越,离不开超纯水装置的加持。

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