德国HEIDENHAIN光栅尺原理。海德汉公司用以下特别开发的光刻工艺制造精密光栅。SUPRADUR 相位光栅：光学三维平面格栅；超*抗污能力；典型栅距：不超过 8um。OPTODUR 相位光栅：光学三维平面格栅，超高反光性能；典型栅距：不超过 2um。METALLUR：抗污染的镀金层金属栅线；典型栅距：40um。DIADUR：玻璃基体的超硬铬栅线（典型栅距：20um）或玻璃基体的三维铬线格栅（典型栅距：8um）。在最不理想的情况下，可能需要运动机床测量范围的相当大部分。为加快和简化“参考点回零”操作，许多海德汉光栅尺或编码器带距离编码参考点，参考点间的间距由数学算法确定。因此只需运动数毫米，一旦移过两个相邻参考点后，后续电子电路就能找到绝对参考点位置。当平行光穿过光栅时，以特定的间隔形成明暗的光影区。扫描光栅位于此处。当两个光栅相对运动时，入射光进行调制：在狭缝对齐时，光线通过。光栅条纹的栅距越小，扫描掩膜与光栅尺间的间距越小，公差越严。

HEIDENHAIN encoders with optical scanning incorporate measuring standards of periodic structures known as graduations. With the incremental measuring method, the graduation is arranged as a periodic grating structure. The position information is obtained through the counting of individual increments (measuring steps) from any set point of origin. Since the ascertainment of positions requires an absolute reference, the scales or scale tapes feature an additional track bearing a reference mark. The absolute position on the scale, established by the reference mark, is gated with exactly one signal period. Most HEIDENHAIN encoders utilize the photoelectric scanning principle. Photoelectric scanning is performed without contact and thus does not induce wear.

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海德汉光栅尺LC192F ML240mm，ID: 387089-01

海德汉数控系统ID: 534913-43

HEIDENHAIN编码器ID: 1169566-52

海德汉读数头ID: 1132407-03

海德汉编码器RCN223F 16384，ID: 533117-06

海德汉测头ID: 594878-01

HEIDENHAIN数控系统ID: 376990-01

HEIDENHAIN测头TS641，653217-27（老型号517352-17）

海德汉数控系统ID: 375134-02

海德汉光栅尺LC195F ML1440mm，ID: 760907-14

海德汉读数头ID: 680983-03

HEIDENHAIN长度计MT12W，12mm，ID: 231011-03

海德汉测头LS603C，ID: 336973-72

海德汉长度计LF481C，ID: 355530-27

HEIDENHAIN读数头AK ERM2480 1024，ID: 1144048-02

HEIDENHAIN编码器ID: 511389-01

HEIDENHAIN长度计ST1288，ID: 383979-01

海德汉编码器ERN1387 2048，ID: 749147-02（老型号385487-51）

HEIDENHAIN测头LC193F ML640mm，ID: 689680-06

HEIDENHAIN数控系统ID: 636280-01

海德汉测头EQN425 2048，ID: 1109258-01

HEIDENHAIN读数头LC483 ML570mm，ID: 689678-11（老型号557650-11）

海德汉长度计MT1281，ID: 331314-02

海德汉读数头ID: 315420-04

海德汉长度计ST1278，ID: 383963-03

HEIDENHAIN长度计ID: 827039-06

HEIDENHAIN测头LC185 ML640mm，ID: 689697-06

HEIDENHAIN栅鼓TTR ERM2400 1024，ID: 1144140-02

HEIDENHAIN读数头，ID: 1144048-61

海德汉数控系统ID: 243602-06

HEIDENHAIN编码器ERN1387 001-2048，ID: 749147-02（老型号727221-51）

HEIDENHAIN数控系统ID: 383965-02

海德汉光栅尺LS477C ML1240mm，ID: 605371-0B

海德汉编码器ID: 658718-03

HEIDENHAIN光栅尺原理LC195S，ID: 760910-02

光栅尺运作使用的原理。常用光纤传感器的运作使用的原理全是依据物理上的上莫尔条纹的产生基本原理开展工作任务的。当使标志光纤传感器上的线纹与尺标光纤传感器上的线纹成一视角 来置放两光栅尺时，必定会导致两光栅尺上的线纹相互之间交差。在灯源的直射下，交接点近旁的小地域内因为黑灰色线纹重合，因此遮光总面积最少，遮光效用最弱，光的积累功效促使这一地域出現亮带。反过来，距交接点很远的地域，因两光栅尺不全透明的黑灰色线纹的重合一部分变得更加少，不全透明地域总面积慢慢增大，即遮光总面积慢慢增大，促使遮光效用变好，只能偏少的光源能利用这一地域穿透光纤传感器，使这一地域出现暗带。这类与光纤传感器线纹基本上竖直，两色出現的亮、暗带就是说莫尔条纹。

据此莫尔条纹的特点，倘若让我们在莫尔条纹挪动的方位上切 4个观查窗体 A，B，C，D，且使这 4个窗体两组距离1/4莫尔条纹总宽，即 W/4。由所述探讨所知，当两光栅尺相对挪动时，莫尔条纹随着挪动，从4个观查窗体A，B，C，D能够获得 4个在位置上先后超前的或落后 (在于两光栅尺相对挪动的方位) 1／4周期时间 (即π/2) 的近似于余弦函数的光強度转变全过程。若选用感光元器件来检验，感光元器件把穿透观查窗体的光強度转变 转化成相对的工作电压数据信号，设成 。依据这4个工作电压数据信号，能够检验出光栅尺的相对挪动。

光栅尺的测量精度还与哪些因素有关？通常还和导轨的精度、结构刚性、光栅尺和末端点的距离有关系，对温度敏感的系统，还和环境温度及光栅尺附近热源有很大关系。通常导轨有直线度和平行度误差，读数头只能读取到光栅尺位置的信息，而我们关心的位置通常不是光栅尺位置，而是结构上功能点的位置，也就是存在阿贝误差。结构刚性，光栅尺和末端点的距离都会影响阿贝误差。温度的上升和下降，会导致光栅尺的热膨胀，也会引入误差。