超声化学法是近发展起来的一种制备超细粉体材料的方法，它是利用超声空化能量加速和控制化学反应，提高反应产率和引发新的化学反应的一门新的边缘交叉学科。

新型超声喷雾法与传统的超声化学方法具有明显的不同。首先在超声波的作用下利用超声空化能量把一种溶液转化成具有一定能量的微雾状液滴而大面积喷洒到另一化学反应溶液中。得到的微雾气是一种均匀细小的液体小颗粒，且具备了一定的能量，当大面积喷射到另一液体进行化学反应时，可望获得均匀、细小的纳米粉体。

其雾化原理是当超声波从进液口经传导到达出液口的溶液表面时，液-气分界面即溶液表面与空气交界处在受到垂直于分界面的超声波的作用后，由于超声波的作用（即能量作用），使溶液表面形成张力波，随着表面张力波能量的增强，当表面张波能量达到一定值时，在溶液表面的张力波波峰也同时增大使其波峰处的液体雾粒飞出。